[发明专利]使用超快激光束光学器件、中断层和其他层的堆叠透明材料切割

摘要

一种激光钻孔、形成穿孔、切割、分离或以其他方式加工材料的方法，该方法包括将脉冲激光束聚焦成激光束焦线，并且将该激光束焦线引导至包含堆叠的工件内，该堆叠至少包含：第一层，面向该激光束，该第一层是待激光加工的材料，包含载体层的第二层，和位于该第一与第二层之间的激光束中断元件，该激光束焦线在该第一层的材料内产生诱导吸收，该诱导吸收在该第一层的材料内沿着该激光束焦线产生缺陷线。该光束中断元件可以是光束中断层或光束中断界面。

主权项

1.一种激光加工方法，该方法包括：在工件中形成激光束焦线，该激光束焦线是由脉冲激光束形成的；该工件包括：第一层、第二层、和位于该第一层与第二层之间的光束中断元件；以及该激光束焦线在该第一层内产生诱导吸收，该诱导吸收在该第一层内沿着该激光束焦线产生缺陷线，其中该脉冲激光束具有波长并且该第一层在该波长下是基本上透明的。