[发明专利]基板生产线的生产管理装置

摘要

目的在于提供一种能够防止测试生产工序中的基板生产装置的误动作并能够适当地保持生产环境的基板生产线的生产管理装置。基板生产线的生产管理装置具备：是否允许判定部，以由基板生产装置执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从检查装置进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于检查装置对初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行基板生产装置接收的动作指令进行判定；及处理管理部，基于是否允许判定部的判定结果对基板生产装置中的动作指令的处理进行控制。

主权项

1.一种基板生产线的生产管理装置，对基板生产线的基板生产进行管理，所述基板生产线具有：基板生产装置，对所述基板执行各种生产处理；及检查装置，对执行了生产处理后的所述基板进行检查，所述生产管理装置具备：是否允许判定部，以由所述基板生产装置执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从所述检查装置进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于所述检查装置对所述初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行所述基板生产装置接收到的动作指令进行判定；及处理管理部，基于所述是否允许判定部的判定结果对所述基板生产装置中的动作指令的处理进行控制。