[发明专利]压电振动器件有效
| 申请号： | 201480073902.6 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN106416066B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 饭塚实;古城琢也 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03B5/32 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种没有气体的产生、而且能够低矮化、小型化的夹层构造的压电振动器件。晶体振子(101)设有晶体振动板(2)、第1密封构件(3)以及第2密封构件(4)。在第1密封构件(3)上形成有用于与晶体振动板(2)接合的密封侧第1接合图案(321)，在第2密封构件(4)上形成有用于与晶体振动板(2)接合的密封侧第2接合图案(421)，在晶体振动板(2)的一主面(211)上形成有用于与第1密封构件(3)接合的振动侧第1接合图案(251)，在晶体振动板(2)的另一主面(212)上形成有用于与第2密封构件(4)接合的振动侧第2接合图案(252)。密封侧第1接合图案(321)和振动侧第1接合图案(251)被扩散接合，密封侧第2接合图案(421)和振动侧第2接合图案(252)被扩散接合。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 器件 | ||
【主权项】：
1.一种压电振动器件，其设有：压电振动板，在其基板的一主面上形成有第1激振电极，在所述基板的另一主面上形成有与所述第1激振电极成对的第2激振电极；第1密封构件，其覆盖所述压电振动板的所述第1激振电极；以及第2密封构件，其覆盖所述压电振动板的所述第2激振电极，设有与外部电连接的外部端子，所述第1密封构件和所述压电振动板被接合、所述第2密封构件和所述压电振动板被接合，从而形成将包括所述第1激振电极和所述第2激振电极的所述压电振动板的振动部气密地密封的内部空间，所述压电振动器件的特征在于，在所述压电振动板的一主面上形成有用于与所述第1密封构件接合的振动侧第1接合图案，所述振动侧第1接合图案由在所述一主面上物理气相生长而形成的基底PVD膜和在所述基底PVD膜上物理气相生长而层叠形成的电极PVD膜构成，在所述压电振动板的另一主面上形成有用于与所述第2密封构件接合的振动侧第2接合图案，所述振动侧第2接合图案由在所述另一主面上物理气相生长而形成的基底PVD膜和在所述基底PVD膜上物理气相生长而层叠形成的电极PVD膜构成，在所述第1密封构件上形成有用于与所述压电振动板接合的密封侧第1接合图案，所述密封侧第1接合图案由在所述第1密封构件上物理气相生长而形成的基底PVD膜和在所述基底PVD膜上物理气相生长而层叠形成的电极PVD膜构成，在所述第2密封构件上形成有用于与所述压电振动板接合的密封侧第2接合图案，所述密封侧第2接合图案由在所述第2密封构件上物理气相生长而形成的基底PVD膜和在所述基底PVD膜上物理气相生长而层叠形成的电极PVD膜构成，所述密封侧第1接合图案和所述振动侧第1接合图案被扩散接合，所述密封侧第2接合图案和所述振动侧第2接合图案被扩散接合，所述第1密封构件与所述压电振动板之间具有1.00μm以下的间隙，所述第2密封构件与所述压电振动板之间具有1.00μm以下的间隙。
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