[发明专利]用于生成大气等离子体射流的方法以及大气等离子体小型火炬设备

摘要

本文描述了一种用于在大气压、低温条件下生成等离子体的方法和设备。所述的用于生成等离子体的设备包括：第一电极对，第一电极对的每个被介电层分开并相对于其中气体流动的管状管道定位在外部，以及第二电极对，同样在该情况下，第二电极对的每个被介电层分开并相对于所述管状管道定位在外部，其中，相同气体相对流动的方向相对于第一电极对向下游流动。高频激励被施加到第一电极对而射频激励被施加到第二电极对。以这种方式所生成的等离子体源于传输管道的出口处的气流。高频激励可在脉冲序列中施加并且射频发生器基本上在所述脉冲序列中被激活，以用于限制所处理的基板上的热负荷的目的。可通过与用于气体的管状管道同轴的中央传输管道将化学前体和试剂添加到等离子体作为蒸汽或悬浮气体。

主权项

1.一种用于产生大气等离子体射流的方法，所述方法包括：在大气压下使在流动方向(202，402，502)前进的处理气体流过由介电材料制成的管状管道(201，401，501)，所述管状管道具有入口部分和出口部分(207，410)；定位与所述管状管道(201，401，501)的外表面接触的第一同轴电极对(203‑204，307‑308，404‑405，503‑504)以及第二同轴电极对(205‑206，309‑310，406‑407，505‑506)；所述第一同轴电极对(203‑204，307‑308，404‑405，503‑504)相对于所述处理气体在所述管状管道内的流动方向(202，402，502)被定位在所述第二同轴电极对(205‑206，309‑310，406‑407，505‑506)的上游的位置处、并且所述第一同轴电极对被连接到高频发生器(208，301)；所述第二同轴电极对(205‑206，309‑310，406‑407，505‑506)被连接到射频发生器(209，303)；所述高频发生器(208，301)在所述管状管道(201，401，501)内生成丝状等离子体，所述丝状等离子体至少延伸到所述第二同轴电极对(205‑206，309‑310，406‑407，505‑506)；所述射频发生器(209，303)生成第二RF等离子体；使所述RF等离子体和所述丝状等离子体通过所述出口部分(207，410)流出到所述管状管道(201，401，501)的外部，在出口处的这样的等离子体包括在所述出口处具有不高于100℃的温度的至少一种中性气体。