[发明专利]电喷雾装置有效

专利信息
申请号: 201480067152.1 申请日: 2014-11-19
公开(公告)号: CN105813761B 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 本田显真 申请(专利权)人: 东丽工程株式会社
主分类号: B05B5/08 分类号: B05B5/08;F04B53/10
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供电喷雾装置,该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言,该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上,该电喷雾装置(100)具有:喷嘴(1),其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾;泵部(6)和电磁阀(7),其用于将溶液材料输送给喷嘴(1);接头部(8),其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间,包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81),接头主体部(81)被接地。
搜索关键词: 喷雾 装置
【主权项】:
1.一种电喷雾装置,该电喷雾装置将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上,其中,该电喷雾装置具有:所述喷嘴,其在对所述溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾;送液驱动部,其用于将所述溶液材料输送给所述喷嘴;以及接头部,其设置在所述喷嘴与所述送液驱动部之间,包含接头主体部,该接头主体部由具有导电性的材料构成,所述接头主体部被接地,所述喷嘴设置有多个,所述接头部上连接有将从所述送液驱动部输送的所述溶液材料分别输送到多个所述喷嘴的多个配管,并且所述接头部构成为使所述溶液材料向所述多个配管分支。
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