[发明专利]用于压印结构的方法及装置有效
| 申请号： | 201480065137.3 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN105745575B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | D.特雷布迈尔 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C43/02;B29C59/02 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 成城;宣力伟 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于使用具有至少一个压印结构（2）的模具（1）来压印至少一个微结构或纳米结构的方法，所述方法包含以下步骤，具体地以下顺序：相对于剂量给料装置（4）使模具（1）的压印结构（2）定向，借助于剂量给料装置（4）将印制材料（6）剂量给料至压印结构（2）中，至少部分地固化印制材料（6），以及压印该印制材料（6）。所述方法的特征在于，至少在剂量给料步骤中，压印结构（2）指向重力方向（G）。本发明还涉及一种对应装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压印 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于使用具有至少一个压印结构（2）的压印模（1）在载体衬底（3）上压印具有至少一个微结构或纳米结构的单透镜（9）的方法，所述方法具有以下步骤：/n- 将计量给料装置（4）放置在所述压印模（1）和所述载体衬底（3）之间，/n- 使所述压印模（1）的所述压印结构（2）在所述计量给料装置（4）对面并且指向重力方向（G）对准，/n- 借助于所述计量给料装置（4）平行且与所述重力方向（G）相反地将压印材料（6）计量给料至所述压印结构（2）中，/n- 至少部分地硬化所述压印材料（6）和压印所述压印材料（6），/n其特征在于，凸出的压印材料表面（6o）通过重力被形成为沿所述载体衬底（3）的方向，其中，所述压印模（1）通过所述凸出的压印材料表面（6o）沿所述载体衬底（3）的方向的接近实现所述压印材料与所述载体衬底（3）的点接触，其中，由于所述压印模（1）沿所述载体衬底（3）的方向的另一接近，所述凸出的压印材料表面（6o）与所述载体衬底的接触表面持续地扩大。/n
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