[发明专利]用于防指纹涂层的退火的设备和过程在审
| 申请号： | 201480062669.1 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN105917266A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | H.普拉格维茨;S.沃塞 | 申请（专利权）人： | 瑞士艾发科技 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;C03C17/30;C09D183/04;C23C18/12;F27B19/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;谭祐祥 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于在限定温度下在受控水蒸汽压力的环境中处理基板的原位退火站。这样的站可作为处理室被整合到实施防指纹涂覆过程的多室处理装置中。基板通常处于真空条件下直到完成退火过程。实验数据显示出，相比于现有技术，通过紧接在防指纹涂覆步骤之后引入这种水蒸汽中的原位处理，能够实现随后的非原位固化持续时间的显著减少。本发明还涉及基板的沉积过程，该基板通过将其暴露于在大约130℃温度下、在次大气压下的水蒸汽中大约5s而被退火。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 指纹 涂层 退火 设备 过程 | ||
【主权项】：
一种用于同时加热基板并且对其施加水蒸汽的退火设备（10），该退火设备（10）包括：○退火室（15），其具有向所述退火室中供应水的可调节和可控制的水供应源；和○用于将所述退火室抽真空到预定压力水平的装置；以及○加热装置，其用于提高布置在所述退火室中的基板（16）的温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞士艾发科技，未经瑞士艾发科技许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480062669.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种厨房电器用控制电路
- 下一篇：手冲架
