[发明专利]感光性遮光糊剂和接触式传感器用层叠图案的制造方法有效

专利信息
申请号: 201480052061.0 申请日: 2014-09-18
公开(公告)号: CN105531626B 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 田边美晴;草野一孝;田中明彦 申请(专利权)人: 东丽株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/038;G03F7/095;G06F3/041;G06F3/044;H01L21/027
代理公司: 72001 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 赵莹;刘力
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于,提供用于形成包含遮光层和导电层的微细层叠图案的感光性遮光糊剂,所述微细层叠图案作为ITO的替代而发挥功能,不会发生敏感电极的透视、光反射之类的问题。本发明提供感光性遮光糊剂,其为含有颜料、感光性有机化合物和热固化性化合物的感光性遮光糊剂,上述颜料占总固体成分的比例为5~50质量%。
搜索关键词: 感光性 遮光 接触 传感 器用 层叠 图案 制造 方法
【主权项】:
1.接触式传感器用层叠图案的制造方法,其具备如下工序:/n将含有颜料、感光性有机化合物和热固化性化合物的感光性遮光糊剂涂布在基板上,从而得到遮光涂布膜的第一涂布工序;/n将含有导电性粉末、感光性有机化合物和热固化性化合物的感光性导电糊剂涂布在所述遮光涂布膜上,从而得到导电涂布膜的第二涂布工序;以及,/n对所述遮光涂布膜和所述导电涂布膜一并进行曝光和显影,进而以100~300℃加热或照射氙闪光灯的光,从而得到包含遮光层和导电层的层叠图案的层叠图案形成工序,/n其中,所述层叠图案的线宽为2~9μm。/n
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