[发明专利]涂覆基板的方法有效
| 申请号： | 201480049563.8 | 申请日： | 2014-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105555422B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 维莱·奥利他罗;凯·阿西卡拉;西莫·塔梅拉;绍利·维尔塔宁 | 申请（专利权）人： | BENEQ有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/30 | 分类号： | B05D1/30;B05B1/26;B05D1/34;B05D7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 李丙林,王玉桂 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在沉积室(2)中涂覆基板(1)的方法。该方法包括以下步骤提供至少一种液体前体的源；在沉积室(2)中将至少一种液体前体雾化成液滴以用于产生气溶胶；用气溶胶填充沉积室(2)以在沉积室(2)中形成饱和气溶胶；以及朝向基板(1)的表面通过重力来沉降饱和气溶胶以用于在沉积室(2)中涂覆基板(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆基板 方法 | ||
【主权项】：
一种在沉积室(2)中涂覆基板(1)的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：‑提供至少一种液体前体的源；‑在所述沉积室(2)中将所述至少一种液体前体雾化成液滴以用于在大体上水平的方向上产生了平的气溶胶平面；‑用气溶胶填充所述沉积室(2)以用于在所述沉积室(2)中形成饱和气溶胶；以及‑朝向所述基板(1)的表面通过重力来沉降饱和气溶胶以用于在所述沉积室(2)中涂覆所述基板(1)。
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