[发明专利]超纯水制造装置在审
| 申请号： | 201480048799.X | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105517960A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 福井长雄;森田博志;田中洋一;饭野秀章;山田聪 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/44 | 分类号： | C02F1/44;B01D61/08;B01D61/18;B01D61/58 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张永康;李英艳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可稳定地制造微粒经高度去除的高水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置，其具有从一次纯水制造超纯水的次系统，在该次系统的最终段中设置有膜装置，其特征在于，该膜装置是以串联的方式设置有多段，并且，第1段的膜装置为UF膜装置、MF膜装置或RO膜装置，最终段的膜装置为UF膜装置或未经离子交换基修饰的MF膜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种超纯水制造装置，其具有从一次纯水制造超纯水的次系统，并且，在该次系统的最终段设置有膜装置，其特征在于，上述膜装置以串联的方式设置有多段，并且，第1段的膜装置是UF膜装置、MF膜装置或RO膜装置，最终段的膜装置是UF膜装置或未经离子交换基修饰的MF膜装置。
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