[发明专利]废气净化方法及用于该方法的装置有效
| 申请号： | 201480045699.1 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105473210A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 金吉浩;李元翼;安贵龙;金宝经 | 申请（专利权）人： | 韩化石油化学株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/68;B01D53/74 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 朱梅;严彩霞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种废气净化方法及用于该方法的装置。更具体地，本发明涉及一种用于废气净化的方法及用于该方法的装置，所述方法从通过化学气相沉积进行多晶硅沉积工艺后排放的废气中去除氯化氢，并且可以分离高纯度的氢气。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 净化 方法 用于 装置 | ||
【主权项】：
一种废气净化方法，其包含：制备碳载体，其上负载过渡金属催化剂；以及将含有氯化氢(HCl)、氢气(H2)及氯硅烷化合物的废气通过所述碳载体，以去除氯化氢。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩化石油化学株式会社，未经韩化石油化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480045699.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：软性隔间墙的结构
- 下一篇：一种固定二氧化碳的方法
