[发明专利]研磨装置以及研磨方法有效
| 申请号： | 201480044034.9 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN105451939B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 前田和良;涩谷纪仁 | 申请（专利权）人： | 新东工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24B31/02;B24B31/06;B24C3/26;H01F41/04;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供研磨装置以及研磨方法。研磨装置(1)具备：装入被加工物的加工容器(10)；使被加工物在加工容器内流动的流动化单元；将研磨材料朝向被加工物投入的研磨材料投入单元(30)；以及产生朝向研磨材料通过加工容器(10)的方向的气流，并且吸引回收研磨材料的吸引单元(40)。从研磨材料投入单元(30)投入的研磨材料借助从吸引单元(40)产生的气流，一边与被加工物接触一边通过装入加工容器(10)内的被加工物之间。由此，研磨被加工物。 | ||
| 搜索关键词： | 被加工物 研磨材料 加工容器 研磨装置 研磨 吸引单元 装入 流动 回收 吸引 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，对多个被加工物的表面进行研磨，其特征在于，所述研磨装置具备：加工容器，该加工容器具备具有表面侧和背面侧的底面部，并且使所述多个被加工物滞留在所述底面部的所述表面侧，该加工容器在所述底面部形成有可供研磨材料通过的开口部；流动化单元，该流动化单元使所述多个被加工物在所述加工容器内流动；研磨材料投入单元，该研磨材料投入单元使所述研磨材料从研磨材料排出口朝向所述底面部的所述表面侧落下；以及吸引单元，该吸引单元具有设置于所述底面部的下方的吸引部件，并产生从所述研磨材料排出口朝向所述吸引部件的气流，且从所述吸引部件吸引回收通过了所述底面部的所述研磨材料，所述吸引单元产生气流，以便所述研磨材料借助所述气流通过所述多个被加工物之间而研磨所述多个被加工物。
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