[发明专利]用于对电测试件进行电测试的测试设备在审
| 申请号： | 201480037327.4 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105393124A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | U·高斯;J·诺伊鲍尔;斯蒂芬·特罗茨;J·哈普 | 申请（专利权）人： | 精炼金属股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对电测试件(2)、尤其是晶片进行电测试的测试设备(1)，其具有测试头(4)，在测试头中安装有至少一个用于与测试件(2)进行电物理接触的测试触点(5)。在测试头(4)的壁(15)中设置至少一个出口(13)，用于将气体、尤其是保护气体散布到接触区域(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 进行 设备 | ||
【主权项】：
一种用于对电测试件(2)、特别是晶片进行电测试的测试设备(1)，具有测试头(4)，在所述测试头中安装有至少一个用于与所述测试件(2)进行电物理接触的测试触点(5)，其特征在于，在所述测试头(4)的壁(15)中设置至少一个出口(13)，用于将气体、特别是保护气体散布到接触区域(14)中。
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