[发明专利]流体控制装置有效
| 申请号： | 201480034189.4 | 申请日： | 2014-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105431661B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 北野太一;筱原努;药师神忠幸;中田知宏;谷川毅;山路道雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K27/00 | 分类号： | F16K27/00;F16K7/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 主体(2)通过配置有多个通路块(3)而形成。作为形成主气体通路(9)的通路，各通路块(3)具有第1倒V字状通路(15)；以及第1出口通路(16)，其将第1倒V字状通路(15)的顶部与第1开关阀(4)的出口(4b)连通。作为形成排放气体通路(10)的通路，各通路块(3)具有第2倒V字状通路(17)；以及第2出口通路(18)，其将第2倒V字状通路(17)的顶部与第2开关阀(5)的出口(5b)连通。作为形成第1副气体流入通路(11)的通路，各通路块(3)具有第1入口通路(19)，其通向第1开关阀(4)的入口(4a)；以及公共入口通路(20)。作为形成第2副气体流入通路(12)的通路，各通路块(3)具有第2入口通路(21)，其通向第2开关阀(5)的入口(5a)；以及连通路(22)，其与公共入口通路(20)连结。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种流体控制装置，其具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体出入口，它们均在主体的长度方向的两端中的各端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；副气体入口，其设置于主体的一侧；开关阀，其在与副气体入口对应的位置配置有多个、且整体在宽度方向上排列；以及多个副气体流入通路，它们从副气体入口通向各开关阀的入口，该流体控制装置适当地对从副气体入口导入的材料气体进行切换并从主气体通路出口向下游侧处理室供给材料气体，并且经由排放气体通路而将主体内气体排出，所述流体控制装置的特征在于，主体通过在长度方向上配置通路块而形成，该通路块形成有对开关阀进行收纳的凹部，通路块具有第1倒V字状通路和第1出口通路来作为形成主气体通路的通路，其中，该第1倒V字状通路在长度方向两端开口，该第1出口通路将第1倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有第2倒V字状通路和第2出口通路来作为形成排放气体通路的通路，其中，该第2倒V字状通路在长度方向两端开口，该第2出口通路将第2倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有入口通路、公共入口通路以及连通路来作为副气体流入通路，其中，该入口通路通向各开关阀的入口，该公共入口通路与入口通路连结、且通向副气体入口，连通路与入口通路连结、且与公共入口通路连结。
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