[发明专利]设置有连接片的光学结构和用于制造该光学结构的方法有效
| 申请号： | 201480030206.7 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN105556372B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·维佩曼;安德烈亚斯·赖曼;尼古拉斯·兰格;安德烈亚斯·布罗伊尔 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明描述一种具有光学结构、连接片和静电致动器的设备，所述静电致动器具有悬臂式电极，其中连接片将光学结构与用于承载的结构连接，并且静电驱动器构成用于使光学结构转向。 | ||
| 搜索关键词： | 设置 连接 光学 结构 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种设备，所述设备具有：光学结构(12)；至少两个连接片(14；14a‑p)，所述连接片分别将所述光学结构(12)与用于承载的结构(16)连接；和用于使所述光学结构(12)转向的静电驱动器(182a；182b)，其中所述静电驱动器(182a；182b)包括悬臂式电极(174a；174b)和与所述悬臂式电极电绝缘的静态电极(176a；176b)，所述静态电极至少部分地与所述悬臂式电极(174a；174b)相对置，其中所述悬臂式电极(174a；174b)设置在至少一个连接片(14；14a‑p)的至少一个部段(166a；166b)上或者设置所述至少一个部段中，并且其中所述悬臂式电极(174a；174b)至少部分地从至少一个所述连接片(14；14a‑p)的设置有所述连接片(14；14a‑p)的平面中在至少一个所述连接片(14；14a‑p)的所述部段(166a；166b)处转向，并且沿着朝所述静态电极(176a；176b)的方向转向，以便在所述悬臂式电极(174a；174b)和所述静态电极(176a；176b)之间施加电场(186)时引起所述连接片(14；14a‑p)的变形。
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