[发明专利]位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置

摘要

本发明提供位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置。按压量检测传感器(20)具备压电薄膜(201)、形成有电极的保护薄膜(202、203)、粘合层(204、205)。形成有电极的保护薄膜(202、203)经由粘合层(204、205)与压电薄膜(201)粘合，以使得分别使电极(222、232)位于压电薄膜(201)侧。粘合层(204、205)的相对介电常数(εa)比压电薄膜(201)的相对介电常数(εp)高。而且优选粘合层(204、205)的每单位面积的静电电容比压电薄膜(201)的每单位面积的静电电容高，为约2倍以上较好。为了抑制检测灵敏度的降低并且抑制电极的剥落以及气泡等的产生，将粘合层(204、205)的厚度设定在规定厚度范围内。

主权项

1.一种位移传感器，其中，具备：压电薄膜，其产生与位移量对应的电荷；电极，其被配置成与所述压电薄膜对置；以及粘合层，其夹在所述压电薄膜与所述电极之间，所述粘合层的相对介电常数比所述压电薄膜的相对介电常数高，所述粘合层的厚度为10μm以上30μm以下。