[发明专利]用于提供加热的蚀刻溶液的处理系统和方法

摘要

本发明的实施方案提供了一种用于用加热的蚀刻溶液处理衬底的处理系统和方法。在一个实施例中，提供了对酸性蚀刻溶液的温度和水含量的严格控制。根据一个实施方案，所述方法包括在第一循环回路中形成加热的蚀刻溶液；在处理室中提供加热的蚀刻溶液以处理衬底；在第二循环回路中形成另外的加热的蚀刻溶液；以及将另外的加热的蚀刻溶液供应至第一循环回路。根据一个实施方案，所述处理系统包括用于用加热的蚀刻溶液处理衬底的处理室；用于向处理室提供加热的蚀刻溶液的第一循环回路；以及用于形成另外的加热的蚀刻溶液并且将另外的加热的蚀刻溶液供应至第一循环回路的第二循环回路。

主权项

一种在处理室中提供加热的蚀刻溶液的方法，所述方法包括：在第一循环回路中提供第一加热的蚀刻溶液，所述第一加热的蚀刻溶液在所述第一循环回路中循环并且包括含水磷酸；将所述第一循环回路中的加热的蚀刻溶液供应至处理室以用于处理衬底；提供在第二循环回路中持续循环的另外的加热的蚀刻溶液，所述另外的加热的蚀刻溶液包括含水磷酸，以及其中所述另外的加热的蚀刻溶液能够以一定温度和一定水合度提供连续的供给以再填充在所述第一循环回路中循环的所述第一加热的蚀刻溶液；向在所述第二循环回路中循环的所述另外的加热的蚀刻溶液加入新的蚀刻溶液，所述新的蚀刻溶液包括含水磷酸；使所述第二循环回路中的该另外的蚀刻溶液沸腾以将水从所述另外的蚀刻溶液中煮掉，以将在所述第二循环回路中循环的所述另外的加热的蚀刻溶液的温度调节至所需的温度水平；持续向在所述第二循环回路中循环的所述另外的加热的蚀刻溶液提供热以将所述另外的加热的蚀刻溶液的温度保持在所述所需的温度水平；在加热所述另外的加热的蚀刻溶液时，以保持所述另外的加热的蚀刻溶液的所需的水合度的方式向在所述第二循环回路中循环的所述另外的加热的蚀刻溶液加入水；以及将该循环的加热的另外的蚀刻溶液从所述第二循环回路供应至所述第一循环回路。