[发明专利]将黏性材料分配至基板上的方法及设备有效
| 申请号： | 201480013186.2 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105008872B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·G.·多伊尔;罗纳德·J.·福盖特;托马斯·C.·普伦蒂斯;帕特希·A.·马特奥 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | G01F11/02 | 分类号： | G01F11/02;B05C5/02 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种分配器，被构造成将材料分配至基板上，该分配器包括分配单元，该分配单元包括具有腔室的外壳、安置在腔室中且可在腔室中轴向移动的活塞、及连接至外壳的喷嘴。喷嘴具有孔口，该孔口与外壳的腔室共轴。分配器进一步包括致动器，该致动器连接至分配单元且被构造成驱动活塞上下移动；及包括连接至致动器和活塞的顺应组件。顺应组件被构造成允许在致动器和活塞之间的有限相对运动。进一步公开了一种分配方法。 | ||
| 搜索关键词： | 黏性 材料 分配 至基板上 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种分配器，所述分配器被构造成将材料分配至基板上，所述分配器包括：分配单元，所述分配单元包括具有腔室的外壳、安置在所述腔室内且可在所述腔室内轴向移动的活塞以及连接至所述外壳的喷嘴，所述喷嘴具有孔口，所述孔口与所述外壳的所述腔室共轴；致动器，所述致动器连接至所述分配单元且被构造成驱动所述活塞的上下移动；及与所述致动器不同的顺应挠性组件，所述顺应挠性组件连接至所述致动器和所述活塞，所述顺应挠性组件包括由所述致动器操作的挠性外壳，所述顺应挠性组件被构造成经由所述挠性外壳允许所述致动器和所述活塞之间的有限相对运动。
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