[发明专利]激光照射装置及光学构件贴合体的制造装置

摘要

本发明提供一种激光照射装置，其包括具有保持对象物的保持面的平台、激发激光的激光振荡器、在与保持面平行的平面内二维地扫描激光的扫描仪、使平台和扫描仪进行相对移动的移动装置、以及控制扫描仪和移动装置的控制装置，控制装置通过一边利用扫描仪使激光偏转，一边沿着激光加工线使扫描仪和平台相对地移动，由此在激光加工线上，形成被多次重叠照射激光的重叠部分。

主权项

一种激光照射装置，包括：具有保持对象物的保持面的平台、激发激光的激光振荡器、在与所述保持面平行的平面内二维地扫描所述激光的扫描仪、使所述平台与所述扫描仪进行相对移动的移动装置、以及控制所述扫描仪和所述移动装置的控制装置，所述控制装置通过一边利用所述扫描仪使所述激光旋转，一边沿着激光加工线使所述扫描仪和所述平台相对地移动，并且，所述扫描仪使所述激光向比所述激光加工线更靠外侧的剩余部分偏转，由此，通过控制所述扫描仪和所述移动装置，从而使得所述激光的移动轨迹包括在与所述激光加工线正交的方向具有宽度的环部分，且俯视地使得将所述扫描仪与所述平台的相对移动所引起的移动轨迹向所述对象物投影而得的相对移动轨迹与所述环部分的所述相对移动轨迹侧的端部重合，由此在所述激光加工线上，形成被多次重叠照射所述激光的重叠部分。