[发明专利]加热接合装置及加热接合产品的制造方法

摘要

提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法，在真空中进行加热接合时，在加热接合结束后的工件的冷却中，不会使加热接合的目标物体过热，与以往的装置及方法相比能够以短时间将目标物体冷却。本发明的加热接合装置具备：真空腔体(10)，容纳加热接合的目标物体(1)和缓冲器部(5)；加热器(20)，对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热；目标物体温度传感器(40)，检测经由缓冲器部而加热了的目标物体的温度；缓冲器温度传感器(60)，检测缓冲器部的温度；真空破坏装置(70)，对真空腔体内的真空进行真空破坏；及控制装置(50)，在目标物体温度传感器与缓冲器温度传感器的检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时，操作真空破坏装置对真空腔体内的真空进行真空破坏。

主权项

一种加热接合装置，具备：真空腔体，容纳加热接合的目标物体和缓冲器部；加热器，对与容纳于所述真空腔体内的所述目标物体接触而配置的所述缓冲器部加热；目标物体温度传感器，检测经由所述缓冲器部而被加热了的目标物体的温度；缓冲器温度传感器，检测所述缓冲器部的温度；真空破坏装置，对所述真空腔体内的真空进行真空破坏；及控制装置，具有记录规定的温度差的设定值的设定值存储部，所述控制装置以如下方式进行控制：在所述目标物体温度传感器检测到的所述目标物体的温度达到规定的目标温度后且所述目标物体温度传感器的第1检测温度与所述缓冲器温度传感器的第2检测温度之间的温度差在所述规定的温度差的范围内时，在尽可能早的时刻，操作所述真空破坏装置对所述真空腔体内的真空进行真空破坏，所述规定的目标温度是被设定为比软钎料的熔点稍高的温度，所述设定值是以所述目标物体不会由真空破坏而热破坏的方式确定的温度差。