[发明专利]基板的异物检测方法有效
| 申请号： | 201480001346.1 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104335030B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李玄石;梁在植;金资根;金熙泰;柳希昱 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11384 | 代理人： | 郑青松,金凤华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了检测基板，首先显示涂敷铅之前的基板的图像信息。接着，拍摄基板上的至少一个测量区域，由此获得所拍摄的测量区域的图像。然后，利用所获得的测量区域的图像来更新所显示的图像信息，并显示所更新的图像信息。并且，为了检测基板的异物，通过比较所获得的测量区域的图像和基板的基准图像，来检测是否存在异物。由此，对应于所显示的基板的图像的特定部分，操作人员能够容易地掌握实际基板的相应部分的位置，并能容易地检测出存在于基板上的异物。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基板的异物检测方法，其中，包括：利用至少一个光栅图案光，来获得基于测量基板高度的三维信息的步骤；利用上述基于高度的三维信息，来检测上述测量基板的异物的步骤；利用多个彩色光，来获得上述测量基板的各颜色的二维信息的步骤；利用上述各颜色的二维信息，来检测上述测量基板的异物的步骤；以及合并根据上述基于高度的三维信息的异物检测结果和根据上述各颜色的二维信息的异物检测结果的步骤；其中，利用上述各颜色的二维信息，来检测上述测量基板的异物的步骤包括：利用上述多个彩色光，来获得主基板的各颜色的主图像的步骤；利用上述多个彩色光，来获得上述测量基板的各颜色的测量图像的步骤；以及通过比较上述各颜色的主图像和上述各颜色的测量图像，来检测异物的步骤。
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