[实用新型]非平衡少数载流子寿命测量的多普勒频移产生装置有效
| 申请号： | 201420873672.9 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204439789U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 谢鸿波;关自强;郭勇文;陈湘如;申浩;周映芬;李斌;柯观振 | 申请（专利权）人： | 广州半导体材料研究所 |
| 主分类号： | G01R31/265 | 分类号： | G01R31/265 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘培培 |
| 地址： | 510610 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非平衡少数载流子寿命测量的多普勒频移产生装置，包括底座、限位柱、活动平台及样品台，所述限位柱固定于所述底座上，所述活动平台滑动地固定于所述限位柱上，所述活动平台与所述底座之间设置有第一电磁线圈、活动平台复位机构，所述活动平台的上端面置有微波模块、下端面固定有与所述第一电磁线圈相对的永磁铁，所述样品台固定于所述活动平台的正上方。微波模块通过所述微波发射天线向样品硅片发射微波，样品硅片中有受光激发的载流子将微波向下反射，由于微波模块固定在活动平台上做近似的简谐运动，即两者之间有一个频率差，将信号变成中频信号，避免了处理高频信号而带来上述的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 少数 载流子 寿命 测量 多普勒频移 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种非平衡少数载流子寿命测量的多普勒频移产生装置，其特征在于，包括底座、限位柱、活动平台及样品台，所述限位柱固定于所述底座上，所述活动平台滑动地固定于所述限位柱上，所述活动平台与所述底座之间依次设置有第一电磁线圈、活动平台复位机构，所述第一电磁线圈缠绕于绝缘骨架上，所述活动平台的上端面置有微波模块、下端面固定有与所述第一电磁线圈相对的永磁铁，所述样品台固定于所述活动平台的正上方，并在所述样品台放置样品处挖设有开孔；所述微波模块包括微波源，微波发射天线及微波接收天线；所述限位柱和所述活动平台的材质均为绝缘材料。
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