[实用新型]光学薄膜用可调节夹具有效
申请号: | 201420869460.3 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN204589292U | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 沈刚;肖琦;姚德武;郑环其;马孜 | 申请(专利权)人: | 西南技术物理研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人: | 郭纯武 |
地址: | 610041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种光学薄膜用可调节夹具,包括一个矩形体夹具模座。所述夹具模座制有与光学镀膜形状一致的通孔,所述通孔一侧制有与大于所述光学镀膜基片宽度尺寸的矩形台阶,悬空的矩形台阶上方设计有螺栓调节孔,调节螺栓通过螺栓调节孔连接调节滑块,调节螺栓轴端大头底部平面与夹具模座平台接触,在所述通孔的长度尺寸范围之内可沿长度方向滑动调节来保证光学玻璃棱镜薄膜基片的有效通光孔径尺寸。本实用新型提供了一种能够在两三百度高温下可靠工作的光学薄膜用可调节夹具。本实用新型通过在所述通孔的长度尺寸范围之内滑动调节来保证光学玻璃棱镜薄膜基片的有效通光孔径尺寸,解决了在镀膜过程中光学玻璃棱镜基片通光面不被离子束轰击加速后膜料产生衍射的难题。 | ||
搜索关键词: | 光学薄膜 调节 夹具 | ||
【主权项】:
一种光学薄膜用可调节夹具,包括一个矩形体夹具模座,其特征在于:所述夹具模座制有与光学镀膜形状一致的通孔,所述通孔一侧制有与大于所述光学镀膜基片宽度尺寸的矩形台阶,悬空的矩形台阶上方设计有螺栓调节孔,调节螺栓通过螺栓调节孔连接调节滑块,调节螺栓轴端大头底部平面与夹具模座平台接触,在所述通孔的长度尺寸范围之内可沿长度方向滑动调节来保证光学玻璃棱镜薄膜基片的有效通光孔径尺寸。
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