[实用新型]高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置有效
| 申请号： | 201420808219.X | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN204369992U | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;隋玲玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置，其特征在于：它包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、第一混合罐（3）、硝酸储罐（4）、第二混合罐（5）、配料罐（6）、去离子水储罐（7）、阴离子表面活性剂储罐（8）、聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐（9）、第三混合罐（10）、氯化钾储罐（11）、硝酸钾储罐（12）、过滤器（13）和成品罐（14）。本实用新型高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置，分散混合均有性好、且操作安全性好，产品杂质含量少。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 速率 残留 酸性 生产 装置 | ||
【主权项】：
一种高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置，其特征在于：它包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、第一混合罐（3）、硝酸储罐（4）、第二混合罐（5）、配料罐（6）、去离子水储罐（7）、阴离子表面活性剂储罐（8）、聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐（9）、第三混合罐（10）、氯化钾储罐（11）、硝酸钾储罐（12）、过滤器（13）和成品罐（14）；所述磷酸储罐（1）和醋酸储罐（2）分别与第一混合罐（3）进口相连接；所述第一混合罐（3）出口、硝酸储罐（4）出口分别与第二混合罐（5）进口相连接；所述阴离子表面活性剂储罐（8）、聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐（9）分别与第三混合罐（10）进口相连；所述第二混合罐（5）出口、第三混合罐（10）出口、离子水储罐（7）出口、氯化钾储罐（11）出口、硝酸钾储罐（12）出口分别与配料罐（6）进口相连；所述配料罐（6）出口与过滤器（13）进口相连接，所述过滤器（13）出口与成品罐（10）相连接。
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