[实用新型]用于防污膜镀膜的加液系统有效
| 申请号： | 201420803598.3 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204369983U | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张洪;史俊俊;张海熬 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统，特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置，其特征在于：所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。本实用新型的优点是：可以进行自动化、无需开腔破真空加药。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防污 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
一种用于防污膜镀膜的加液系统，将防污膜料药液瓶中的药液加注到坩埚内，其特征在于：所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。
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