[实用新型]一种带有不连续台阶部的防变形旋涂用托盘有效
| 申请号： | 201420781957.X | 申请日： | 2014-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN204323876U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张志勇;赵青山;赵少华;赵炜 | 申请（专利权）人： | 西安宝莱特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D19/26 | 分类号： | B65D19/26;B65D19/38 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710075 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种托盘，具体涉及一种带有不连续台阶部的防变形旋涂用托盘，其主要包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设一凹槽，该凹槽由首尾相连的四个侧边通过底面围合而成，每个侧边向外延伸设有一个凸台，相邻侧边上的凸台不相连。本实用新型通过在圆盘本体上均匀间隔设置的多个凸台，使基片与凹槽之间产生空腔，从而减少基片与托盘接触，避免基片因底面不平整而产生变形，同时有助于散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 连续 台阶 变形 旋涂用 托盘 | ||
【主权项】：
一种带有不连续台阶部的防变形旋涂用托盘，其特征在于：包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设一凹槽，该凹槽由首尾相连的四个侧边通过底面围合而成，每个侧边向外延伸设有一个凸台，相邻侧边上的凸台不相连。
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