[实用新型]一种磁控溅射镀膜真空室温控门

摘要

一种磁控溅射镀膜真空室温控门，是由：温控门、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出口、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，电阻率达到2×10^-4Ω/cm、透过率达到90％以上；明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。

主权项

一种磁控溅射镀膜真空室温控门，是由：温控门(1)、长加热模块(2)、长加热模块正极(2‑2)、长加热模块负极(2‑3)、矩形加热模块(3)、正负极输入输出口(3‑2)、定位器(4)构成；其特征在于：温控门(1)一侧的中部竖向设置长加热模块组，长加热模块组的两侧对称设置一对长加热模块(2)，一对长加热模块(2)与长加热模块组之间对称设置一对矩形加热模块组。