[实用新型]一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置有效
| 申请号： | 201420770329.1 | 申请日： | 2014-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN204265838U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 秦遵红;王恋贵;董安光;谭华 | 申请（专利权）人： | 洛阳康耀电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由：墙体、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、短加热模块、短加热模块正极、短加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出孔、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 真空 墙体 温控 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由：墙体(1)、长加热模块(2)、长加热模块正极(2‑2)、长加热模块负极(2‑3)、短加热模块(3)、短加热模块正极(3‑2)、短加热模块负极(3‑3)、矩形加热模块(4)、正负极输入输出孔(4‑2)、定位器(5)构成；其特征在于：墙体(1)一侧的中部设置长加热模块组，长加热模块组的上方设置短加热模块组，下方设置矩形加热模块组。
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