[实用新型]一种单晶炉热场结构

摘要

本实用新型公开了一种能够实现石墨坩埚的上升速度与旋转速度分别单独控制的单晶炉热场结构。该单晶炉热场结构包括上炉膛、下炉膛，上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构，下炉膛内设置有保温筒，保温筒内设置有石墨坩埚，石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有加热器，石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构，石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板，坩埚旋转顶升机构由旋转轴、旋转齿轮、底座、驱动电机、驱动齿轮、升降装置组成。该坩埚旋转顶升机构可以实现石墨坩埚的上升速度与旋转速度分别单独控制，二者单独控制给拉晶工艺的参数控制带来了极大的便利。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

一种单晶炉热场结构，包括上炉膛(1)、下炉膛(2)，上炉膛(1)设置在下炉膛(2)上方且上炉膛(1)通过隔离阀(3)固定在下炉膛(2)顶部，所述上炉膛(1)顶部设置有籽晶旋转提升机构(4)，所述下炉膛(2)内设置有保温筒(5)，所述保温筒(5)内设置有石墨坩埚(6)，所述石墨坩埚(6)内设有石英坩埚(7)，石墨坩埚(6)外侧设置有加热器(8)，加热器(8)位于保温筒(5)内，所述加热器(8)通过加热电极(9)固定在下炉膛(2)底部，下炉膛(2)的顶部连接有氩气管(10)，所述氩气管(10)穿过下炉膛(2)伸入到下炉膛(2)内，所述下炉膛(2)的下部设置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上连接有排放管(12)，排放管(12)末端连接有真空泵(13)，真空泵(13)的进口与排放管(12)的出口相连，所述石英坩埚(7)上方设置有籽晶夹持装置(14)，所述籽晶夹持装置(14)通过传动杆(15)与籽晶旋转提升机构(4)相连，所述石墨坩埚(6)底部设置有坩埚旋转顶升机构(16)，所述石墨坩埚(6)与坩埚旋转顶升机构(16)设置有圆形的石墨托板(17)，其特征在于：所述坩埚旋转顶升机构(16)包括固定在石墨托板(17)底部的旋转轴(161)，所述旋转轴(161)上固定有旋转齿轮(162)，所述旋转轴(161)底部设置有底座(163)，所述旋转轴(161)通过轴承固定在底座(163)上，所述底座(163)上设置有驱动电机(164)，所述驱动电机(164)的输出轴上设置有驱动齿轮(165)，所述驱动齿轮(165)与旋转齿轮(162)互相啮合，所述底座(163)下方设置有用于使底座(163)上下移动的升降装置(166)。