[实用新型]一种真空紫外灯的射频电离激发装置有效
申请号: | 201420732503.3 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN204204795U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 李海洋;李林;刘骥巍 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/16 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种真空紫外灯的射频电离激发装置,真空紫外灯腔体中充有惰性气体,通过该电离激发装置将惰性气体电离击穿后,透过光窗会发出特定波长的光。本实用新型设计的电离激发装置体积小巧、结构紧凑,适合于用作离子迁移谱仪中真空紫外灯电离源的电离激发。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 紫外 射频 电离 激发 装置 | ||
【主权项】:
一种真空紫外灯的射频电离激发装置,其特征在于:包括中空密闭的玻璃腔体(2),于玻璃腔体(2)的侧壁上设有作为光窗(1)的通孔,通孔内设有透明光窗片,通过透明光窗片将光窗的通孔密封;于玻璃腔体(2)外壁面上设有2片以上的片状电离电极(4),于片状电离电极(4)远离玻璃腔体(2)一侧设有绝缘层(3)。
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