[实用新型]一种含铜离子蚀刻液循环回收处理装置有效
申请号: | 201420725934.7 | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN204265854U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 蔡卫宜;谭兆基;黄家力;姚卫全 | 申请(专利权)人: | 清远市中宇环保实业有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 汤喜友 |
地址: | 511500 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种含铜离子蚀刻液循环回收处理装置,包括:密封的电解槽,该电解槽内设有复合隔膜,该复合隔膜将电解槽分为阴极室和阳极室,该电解槽与生产线蚀刻缸相连通;氯气储存器,用于储存氯气,该氯气储存器通过导管与阳极室的底部相连;氯气发生装置,用于产生氯气,该氯气发生装置与氯气储存器相连,且二者之间设置一通断阀门;及循环管道,该循环管道上端连接电解槽的顶部,下端连接氯气储存器。本实用新型通过氯气发生装置产生纯净氯气,并导入电解槽中,可确保蚀刻废液中的亚铜离子得到充分氧化,提高蚀刻废液中铜离子的再生率。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 蚀刻 循环 回收 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种含铜离子蚀刻液循环回收处理装置,其特征在于,包括:密封的电解槽,该电解槽内设有复合隔膜,该复合隔膜将电解槽分为阴极室和阳极室,该电解槽与生产线蚀刻缸相连通;氯气储存器,用于储存氯气,该氯气储存器通过导管与阳极室的底部相连;氯气发生装置,用于产生氯气,该氯气发生装置与氯气储存器相连,且二者之间设置一通断阀门;及循环管道,该循环管道上端连接电解槽的顶部,下端连接氯气储存器。
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