[实用新型]一种同时获得外观图像和元素分布影像的显微成像系统

摘要

本实用新型公开了一种同时获得外观图像和元素分布影像的显微成像系统，主要包括：激光器，其发射短脉冲激光信号；照明光源，其发射可见光信号；折射反射光路，其中包过多个透射反射镜，以使所述激光器和照明光源发出的光信号均竖直向下传播；物镜，其位于所述折射反射光路的下方，竖直向下传播的光信号穿过所述物镜，照射在物镜下方的待检测物体上；移动机构，其移动所述光信号或移动所述待检测物体，使得所述光信号遍历所述待检测物体的所有部分。本实用新型将LIBS分析技术与激光扫描共聚焦技术有机结合，采用光谱显微成像技术实现对待测样品的逐点扫描，实现了一种同时获得外观图像和元素分布影像的显微成像系统。

主权项

一种同时获得外观图像和元素分布影像的显微成像系统，其特征在于，包括：激光器(1)，其发射短脉冲激光信号；照明光源(12)，其发射可见光信号；折射反射光路，其中包括多个透射反射镜，以使所述激光器(1)和照明光源(12)发出的光信号均竖直向下传播；物镜(5)，其位于所述折射反射光路的下方，竖直向下传播的光信号穿过所述物镜(5)，照射在物镜下方的待检测物体上；移动机构，其移动所述光信号或移动所述待检测物体，使得所述光信号遍历所述待检测物体的所有部分；其中，所述短脉冲激光信号激发所述待检测物体产生等离子体，且所述照明光源(12)的可见光信号经过所述待检测物体反射后返回通过物镜，并到达图像处理器(8)，得到待检测物体的外观图像；且所述激光器(1)的短脉冲激光信号经过所述待检测物体反射后返回通过物镜，并穿过中阶梯光栅(14)，生成分光光谱，通过凹面镜(6)汇聚后，到达光电探测器(15)，其通过探测分光光谱中的电磁波强度确定待检测物体的元素分布影像。