[实用新型]老化板有效
| 申请号： | 201420711767.0 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN204241589U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 邵玲玲;辛军启 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种老化板，包括：板体和多个适配板，所述适配板包括一面以及与所述一面相对的另一面，所述一面设置有多个第一探针，所述适配板通过所述多个第一探针与所述板体连接，所述另一面上设置有多组第二探针，所述多组第二探针分别与多种不同封装类型的被测样品匹配。所述适配板上设置有多组第二探针，所述多组第二探针分别与多种不同封装类型的被测样品匹配，从而可以实现不同的封装类型的被测样品共用一块老化板，实现老化板的通用，并且可以快速的从一种封装类型的被测样品转换成另一种封装类型的被测样品。 | ||
| 搜索关键词： | 老化 | ||
【主权项】：
一种老化板，其特征在于，包括：板体和多个适配板，所述适配板包括一面以及与所述一面相对的另一面，所述一面设置有多个第一探针，所述适配板通过所述多个第一探针与所述板体连接，所述另一面上设置有多组第二探针，所述多组第二探针分别与多种不同封装类型的被测样品匹配。
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