[实用新型]研磨平台及研磨机有效
| 申请号： | 201420697960.3 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN204248635U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 李峰;王洪亚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04;B24B55/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨平台，包括承载台，以及位于承载台外围的多个喷液机构，喷液机构的一端与承载台的顶面共同形成一个支撑面，该支撑面用来支撑待研磨物体。在研磨过程中，喷液机构喷出混合水气，可防止研磨屑进入到待研磨物体的底面，减少了研磨污水流到承载台上的几率，防止造成污染。与传统的承载台相比，本申请的承载台的设计增加了其使用寿命，即寿命较高。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 平台 研磨机 | ||
【主权项】：
一种研磨平台，包括承载台，其特征在于，所述研磨平台还包括位于所述承载台外围的多个喷液机构，所述喷液机构的一端与所述承载台的顶面共同形成一个支撑面。
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