[实用新型]一种手动片盒清洗装置

摘要

本实用新型创造提供一种手动片盒清洗装置，包括冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU设备、水槽排放液系统、注水系统、箱体和工作台，刷洗槽和冲洗槽分别位于浸泡槽的两侧，FFU设备位于箱体上方，水槽排放液系统和注水系统分别与冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽连接，工作台由孔板组成。一种手动片盒清洗装置，其水槽供水、溢流及排水均由气动阀控制，每个水槽有注水开关，排水开关，溢流开关和溢流量调节阀，装置操作简便、安全性高，不需要买免洗片盒，能同时对多个不同规格硅片片盒进行清洗，不仅降低了生产成本，而且大大节省了片盒清洗的时间，提高了片盒清洗的产能。除此之外，操作台上方配置FFU设备，为硅片片盒清洗工作提供了一个洁净的微环境。

主权项

一种手动片盒清洗装置，其特征在于：包括冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU设备、水槽排放液系统、注水系统、箱体和内嵌于所述箱体内的工作台，所述冲洗槽、刷洗槽和浸泡槽均位于所述工作台上，所述刷洗槽和所述冲洗槽分别位于所述浸泡槽的两侧，所述FFU设备位于所述箱体上方，所述水槽排放液系统和所述注水系统分别与所述冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽连接，所述工作台由孔板组成。