[实用新型]平基板检验装置有效
| 申请号： | 201420694224.2 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN204374100U | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | O·赛法尔;D·马卡;D·科皮勒维奇;E·茍炫;O·卡达;A·诺福;T·赫维思;T·马格里特 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 张俊阁 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检验装置，包括平台，所述平台用以接收平基板并沿扫描方向传送所述平基板经过扫描区。扫描桥安装于所述扫描区上方并包括两个或更多个平行轨道，所述两个或更多个平行轨道沿与所述扫描方向横交的轨道方向跨越所述扫描区延伸。第一多个安装座沿所述轨道中的每一者在间隔开所选间距的各自位置处被扣紧至所述轨道，从而可通过沿所述轨道滑动所述安装座来调节所述位置及所述间距。第二多个光学检验模块分别在所述各自位置处被固定至所述安装座，以在所述扫描区内拍摄所述平基板的相应区域的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 平基板 检验 装置 | ||
【主权项】：
一种平基板检验装置，其特征在于，包括：平台，用以接收平基板并沿扫描方向传送所述平基板经过扫描区；以及扫描桥，安装于所述扫描区上方并包括：两个或更多个平行轨道，沿与所述扫描方向横交的轨道方向跨越所述扫描区延伸；第一多个安装座，沿所述轨道中的每一者在间隔开所选间距的各自位置处被扣紧至所述轨道，从而可通过沿所述轨道滑动所述安装座来调节所述位置及所述间距；以及第二多个光学检验模块，分别在所述各自位置处被固定至所述安装座，以在所述扫描区内拍摄所述平基板的相应区域的图像。
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