[实用新型]一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器有效
| 申请号： | 201420637782.5 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN204177762U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 沈洁;谢贵久;颜志红;曹勇飞;潘喜成;宋祖殷 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体气敏元件技术领域，具体涉及一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器，从下至上依次包括：钛片、二氧化钛纳米管阵列层、金属钯层、金属电极层，所述二氧化钛纳米管阵列层为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器在室温下具有良好的灵敏度，快速的响应时间和低的氢气检测下限值，同时所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器的制备方法简便，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺氮二 氧化 纳米 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器，所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器从下至上依次包括：钛片(1)、二氧化钛纳米管阵列层(2)、金属钯层(3)、金属电极层(4)，其特征在于：所述二氧化钛纳米管阵列层(2)为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。
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