[实用新型]光阻预烤炉加热器的多区结构

摘要

本实用新型涉及一种光阻预烤炉加热器的多区结构，特别是指一种运用在液晶显示设备(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品质量及生产良率。其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于底部的支撑底板向上依序设置有加热器及热板，使加热器可对热板进行加热，而加热器以复数个相等区域分布在热板下方，则该热板能投影加热器的数量产生复数个小分区，且该每一小分区可独立控制温度，以调整热板的各区域的温度，控制热板中央、环边或端边的温度一致，使放置于热板上烘烤的玻璃基板达到均匀受热。

主权项

一种光阻预烤炉加热器的多区结构，其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部的支撑底板向上依序设有加热器及热板，该加热器能对该热板进行加热，该腔体的顶端面则利用一上盖板将其封闭成一加热空间，该加热空间仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，其特征在于：该加热器以复数个设置在该热板下方的小分区组成，该小分区能够使该热板能投影该加热器，且该小分区在该热板上划分成相等面积，该小分区的以直轴区及横轴区的隐形线交错产生，使直轴区及横轴区都能分别划出复数个加热小分区，且在该每一小分区内或小分区下方的加热器内设有温度传感器，该温度传感器用以侦测每一小分区的温度，来调整每一小分区的加热与否。