[实用新型]一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置有效
| 申请号： | 201420615397.0 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN204253357U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B53/20 | 分类号： | F04B53/20 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，包括进气管、挡油管、滤芯、封盖、螺杆、回油管、出气管和封盖，所述进气管的一端与滑阀泵连接，所述挡油管的下端设有与进气管另一端连接的进气口，所述挡油管的上端侧壁设有与出气管连接的出气口，所述滤芯通过螺杆安装于挡油管内，且所述滤芯与进气口密封连接；所述挡油管的下端设有与挡油管内腔连通的回油孔，所述回油孔通过回油管与滑阀泵的泵体连接，所述挡油管的上端面设有开口，所述开口与封盖密封连接。本实用新型提高了泵油的利用率，降低生产成本，减少工作环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 生产线 滑阀 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：包括进气管、挡油管、滤芯、封盖、螺杆、回油管和出气管，所述进气管的一端与滑阀泵连接，所述挡油管的下端设有与进气管另一端连接的进气口，所述挡油管的上端侧壁设有与出气管连接的出气口，所述滤芯通过螺杆安装于挡油管内，且所述滤芯与进气口密封连接；所述挡油管的下端设有与挡油管内腔连通的回油孔，所述回油孔通过回油管与滑阀泵连接，所述挡油管的上端面设有开口，所述开口与封盖密封连接。
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