[实用新型]研磨液传送臂及研磨装置

摘要

本实用新型公开一种研磨液传送臂及研磨装置，所述研磨液传送臂包括用以向研磨垫输送研磨液的研磨液输送管、套接于所述研磨液输送管外侧的渗透套及设置于所述渗透套上的多个渗透凸点，当研磨液输送管中有研磨液时，研磨液由研磨液输送管上的多个输液孔流出并被渗透套所吸附，最终由渗透套上的多个渗透凸点以渗透的方式将研磨液传送给研磨垫，提高了研磨垫上研磨液的承载量，避免了利用传统的研磨液传送臂，在研磨液输送过程中受研磨台旋转所产生的离心力的影响，出现研磨液流失的现象，解决了研磨垫上研磨液的承载量不足，从而出现晶圆损伤的现象，导致产品良率降低的问题。

主权项

一种研磨液传送臂，其特征在于，包括：用以向研磨垫输送研磨液的研磨液输送管、套接于所述研磨液输送管外侧的渗透套及设置于所述渗透套上的多个渗透凸点；所述研磨液输送管上设置有多个输液孔；所述渗透套及所述多个渗透凸点的渗透孔径均大于研磨液中研磨颗粒的直径。