[实用新型]一种三位一体薄膜测试装置有效
| 申请号： | 201420607407.6 | 申请日： | 2014-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN204154647U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 董亚明;刘云芳;黄春雨;刘婷;胡秀涛;王侠;任雪莉 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/55;G01Q30/20;G01Q60/24;G01B11/06;G01B11/245 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 周云 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪三位一体薄膜测试装置及其测试方法，该仪器包括拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪各一台，还包括一样品台，样品台由一矩形玻璃衬底、一半圆棒棱镜和一半透明金属膜组成，半透明金属膜镀在玻璃衬底上侧，半圆棒棱镜的矩形面紧密贴合于玻璃衬底下侧；拉曼光谱仪的光源以及信号采集装置均设置在样品台的上方，表面等离子共振光谱仪的光源设置在样品台的下方，原子力显微镜设置于样品台上方。本实用新型具有以下优点：本实用新型避免了由于大距离移动样品造成的测试误差，克服了拉曼光谱信号太弱的缺点，可以同时获得样品的薄膜厚度、折射率、物质构成和表面形貌等信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三位一体 薄膜 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种三位一体薄膜测试装置，包括拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪各一台，其特征在于，还包括一样品台，所述样品台由一矩形玻璃衬底、一半圆棒棱镜和一半透明金属膜组成，半透明金属膜镀在玻璃衬底上侧，半圆棒棱镜的矩形面紧密贴合于玻璃衬底下侧；拉曼光谱仪的光源以及信号采集装置均设置在样品台的上方，表面等离子共振光谱仪的光源设置在样品台的下方，原子力显微镜设置于样品台上方。
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