[实用新型]一种研磨装置有效
| 申请号： | 201420599765.7 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204149028U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 唐强;张溢钢;钱继君;朱海青;施成 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨装置，至少包括：盘状内研磨盘；套设于所述内研磨盘外侧的环状外研磨盘；所述内研磨盘连接于控制所述内研磨盘升降的第一伸缩装置的下端；所述外研磨盘连接于控制所述外研磨盘升降的第二伸缩装置的下端；所述第一伸缩装置的上端连接于控制所述内研磨盘自转的第一电机，所述第二伸缩装置的上端连接于控制所述外研磨盘自转的第二电机。本实用新型的研磨装置将研磨盘分为内、外两部分，并以压缩空气分别控制内、外研磨盘的升降，利用内、外研磨盘与研磨垫的接触面积不同、研磨速率不同来调节研磨速率，使研磨速率保持稳定，进一步提高研磨的均匀性。同时，研磨盘在整个生命周期中都能被充分利用，大大节约了资源和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置至少包括：盘状内研磨盘；套设于所述内研磨盘外侧的环状外研磨盘；所述内研磨盘连接于控制所述内研磨盘升降的第一伸缩装置的下端；所述外研磨盘连接于控制所述外研磨盘升降的第二伸缩装置的下端；所述第一伸缩装置的上端连接于控制所述内研磨盘自转的第一电机，所述第二伸缩装置的上端连接于控制所述外研磨盘自转的第二电机。
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