[实用新型]蓝宝石衬底加工夹具有效
申请号: | 201420598750.9 | 申请日: | 2014-10-16 |
公开(公告)号: | CN204108828U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 杨国峰;杨文娟 | 申请(专利权)人: | 杭州世明光电有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及蓝宝石衬底加工设备领域,尤其是一种蓝宝石衬底加工夹具,它包括衬底本体和夹具本体,所述夹具本体的顶面向内凹陷形成凹腔,凹腔在夹具本体顶面的轮廓尺寸小于衬底本体的外围尺寸,夹具本体的顶面的外围尺寸大于或等于衬底本体的外围尺寸;在凹腔外围的夹具本体的顶面上设有密封层;在夹具本体的底部设有与凹腔连通的抽真空管道,在抽真空管道上设有控制阀门。该蓝宝石衬底加工夹具,使用夹具本体内的凹腔的设置,对其进行抽真空,可实现衬底本体与夹具本体的连接,而且夹具本体可随着衬底本体的生产加工的需求自由移动,并装夹在不同的加工设备上使用,方便了对衬底本体的装夹,提高对蓝宝石衬底的加工效率。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 衬底 加工 夹具 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石衬底加工夹具,其特征是:它包括衬底本体和夹具本体,所述夹具本体的顶面向内凹陷形成凹腔,凹腔在夹具本体顶面的轮廓尺寸小于衬底本体的外围尺寸,夹具本体的顶面的外围尺寸大于或等于衬底本体的外围尺寸;在凹腔外围的夹具本体的顶面上设有密封层;在夹具本体的底部设有与凹腔连通的抽真空管道,在抽真空管道上设有控制阀门。
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