[实用新型]曝光机光源照射强度调整机构有效
| 申请号： | 201420586851.4 | 申请日： | 2014-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN204143154U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 周坤麟;何立克 | 申请（专利权）人： | 叙丰企业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V14/02 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 宋菲;刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机光源照射强度调整机构，其包含光传感器，感测曝光机的多个光源的照射强度；移动机构，该光传感器设置于该移动机构以相对于这些光源移动；以及照射强度调整单元，其具有处理单元及存储单元，该光传感器、该移动机构及该存储单元电连接该处理单元，该处理单元电连接这些光源，该存储单元储存这些光源的位置及照射强度值，该处理单元借由这些照射强度值调整这些光源的照射强度至均匀。借此，本实用新型的曝光机光源照射强度调整机构可随时检测并调整曝光机的多个光源的照射强度至均匀，以提升曝光机曝光成品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 光源 照射 强度 调整 机构 | ||
【主权项】：
一种曝光机光源照射强度调整机构，其特征在于，包含；光传感器，感测曝光机的多个光源的照射强度；移动机构，该光传感器设置于该移动机构以相对于这些光源移动；以及照射强度调整单元，其具有处理单元及存储单元，该光传感器、该移动机构及该存储单元电连接该处理单元，该处理单元电连接这些光源，该存储单元储存这些光源的位置及照射强度值，该处理单元借由这些照射强度值调整这些光源的照射强度至均匀。
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