[实用新型]一种靶材真空干燥机的载物装置有效
| 申请号： | 201420559423.2 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204100765U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 林杰;王维纲;侯则良 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材真空干燥机的载物装置，其设置在真空干燥机干燥室的开口侧，所述载物装置包括支撑架，所述支撑架的顶部设有支撑台，支撑台的台面与真空干燥机干燥室的底面齐平；所述支撑台的上方设有载物台，所述载物台的底部设有滚轮，滚轮设在支撑台上，并带动载物台在支撑台上滑动。采用以上结构，大型靶材在进入真空干燥机的干燥室内前，先将大型靶材放置在载物台上，然后再将载物台推入真空干燥机的干燥室内，这样的方式，可以大大提高生产效率，而且不会造成靶材的损坏，而且操作方便。另外，本实用新型的结构简单，制造成本低，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥机 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材真空干燥机的载物装置，其设置在真空干燥机干燥室的开口侧，所述载物装置包括支撑架，其特征在于：所述支撑架的顶部设有支撑台，支撑台的台面与真空干燥机干燥室的底面齐平；所述支撑台的上方设有载物台，所述载物台的底部设有滚轮，滚轮设在支撑台上，并带动载物台在支撑台和真空干燥机干燥室的底面上来回滑动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省诺希新材料科技有限公司，未经福建省诺希新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420559423.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
