[实用新型]一种流量控制器检测装置有效
| 申请号： | 201420544266.8 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204087016U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 赵海标;毕建璋;陈建荣 | 申请（专利权）人： | 冠铨（山东）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/02 | 分类号： | G05D23/02 |
| 代理公司： | 济宁众城专利事务所 37106 | 代理人： | 李效宁 |
| 地址： | 272000 山东省济宁市高新区崇*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种流量控制器检测装置，通过气体管路设置在待检测流量控制器的前端，它包括至少两个含有不同量程的流量侦测器，上述流量侦测器相互并联于气体管路上，其一端与上游供气端相连，另一端通过流量阀与流量控制器相连，本实用新型的流量控制器检测装置包含三个不同量程的流量侦测器，这三个流量控制器的量程分别为500m3/h、1000m3/h与1500m3/h，本实用新型的流量控制器检测装置通过改变被测管路的连接方式，增设不同量程的流量侦测器来进行检测流量控制器的准确度，其结构简单，可适应复杂的检测环境，可以保证设置在金属气相沉积设备内的流量控制器准确有效，维护系统正常运行，提高单晶体薄膜的生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量 控制器 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种流量控制器检测装置，通过气体管路设置在待检测流量控制器的前端，其特征在于：它包括至少两个含有不同量程的流量侦测器（2），所述流量侦测器（2）相互并联于气体管路（7）上，其一端与上游供气端（7）相连，另一端通过流量阀（4）与待检测流量控制器（5）相连，所述每个流量侦测器（2）均还相应连接有流量显示器（3）。
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