[实用新型]旋转靶材有效
| 申请号： | 201420525878.2 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN204281849U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;穆健刚;马志伟;李建奎;杨本润;刘健;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;荣红颖 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种旋转靶材，该旋转靶材包括管状结构的管体和环状结构的端头，所述端头的内径固定地套设于所述管体的端部。本实用新型通过连接的办法增加靶材端头的厚度，使端头和管体能够同时被溅射完，提高靶材的利用率，同时具有工艺简单、生产成本低、连接处结合紧密、导热效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 | ||
【主权项】：
一种旋转靶材，其特征在于，包括管状结构的管体和环状结构的端头，所述端头的内径固定地套设于所述管体的端部；其中，所述管体的端部和所述端头之间夹置有导电导热的垫片；所述管体的端部外径收缩变小，且所述端头的外表面设有向所述管体倾斜的斜面；所述管体包括外径依次变小的本体段、连接段和收缩段，装配时，所述收缩段、所述连接段从所述斜面的一端插入所述端头的内部，直至所述连接段与所述本体段的相邻台阶和所述端头的端面接触。
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