[实用新型]一种单晶炉循环水换热系统有效
| 申请号： | 201420491659.7 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN204151449U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 邓德翼;仝泉;高林育 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种单晶炉循环水换热系统，适用于单晶生长过程中对单晶炉体进行降温冷却。本实用新型通过换热系统中冷却水换热装置（4）中冷冻水管路（3）中的冷冻水和纯水原水换热装置（6）中的纯水原水管路（9）中的纯水原水对循环水在进入单晶炉前进行降温和对出单晶炉（5）后的回流循环水进行降温的同时，提升制备高纯水用的纯水原水温度。本实用新型有效解决了现有技术中冷却循环水在进入单晶炉时温度控制出现波动、影响单晶生长的问题，并且利用纯水原水给单晶炉循环水回水降温的同时也提升了纯水原水水温使其符合制备高纯水的温度要求，本实用新型减少了设备投资，节省了大量能源，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 循环 水换热 系统 | ||
【主权项】：
一种单晶炉循环水换热系统，其特征是：所述的单晶炉循环水换热系统主要是由循环水储水箱（1）、循环水泵（2）、冷冻水管路（3）、冷却水换热装置（4）、纯水原水换热装置（6）、循环水出水管路（7）、循环水回水管路（8）、纯水原水管路（9）构成；其中，冷却水换热装置（4）安装在单晶炉（5）循环水进水口的一侧；冷冻水管路（3）通入冷却水换热装置（4）内；纯水原水换热装置（6）安装在单晶炉（5）循环水回水口一侧，纯水原水管路（9）通入纯水原水换热装置（6）内；循环水出水管路（7）的一端安装在循环水储水箱（1）的上部，循环水出水管路（7）上装有循环水泵（2），循环水出水管路（7）先通入冷却水换热装置（4）内，然后出冷却水换热装置（4）与单晶炉（5）上的循环水进水口连接；连接在单晶炉（5）上循环水回水口上的循环水回水管路（8），先通入纯水原水换热装置（6）内，然后出纯水原水换热装置（6）安装在循环水储水箱（1）的下部。
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