[实用新型]一种氨水溶液自动配置供应装置

摘要

一种氨水溶液自动配置供应装置，适用于擦片清洗机去除单晶硅抛光片表面污染物。本实用新型主要由原液罐（1）、配置罐（6）、计量泵（12）、氮气供应管路（19）、氮气平衡管路（31）、纯水管路（20）、氨水溶液供应管（27）、控制柜（30）构成；配置氨水溶液时，控制柜（30）触发计量泵（12）工作和打开纯水供应电磁阀（23），浓氨水被计量泵（12）从原液罐（1）打入配置罐（6）与纯水按比例混合稀释，氮气通入原液罐（1）和配置罐（6）产生足够的压力保证氨水溶液从擦片清洗机喷嘴呈扇形喷出。本实用新型安装简单，占地空间小，操作方便，可自动连续配置供应氨水溶液，显著降低了劳动强度，明显提高了工作效率。

主权项

一种氨水溶液自动配置供应装置，主要是由原液罐（1）、配置罐（6）、计量泵（12）、氮气供应管路（19）、纯水管路（20）、氨水溶液供应管（27）、控制柜（30）、氮气平衡管路（31）构成；其中原液罐（1）由低液位传感器（2）、高液位传感器（3）、出口手阀（4）、进口手阀（5）组成；配置罐（6）由低液位传感器（7）、高液位传感器（8）、进口手阀（9）、出口手阀（11）组成；原液罐（1）上出口手阀（4）通过计量泵（12）与配置罐（6）上进口手阀（9）相连接；原液罐（1）上低液位传感器（2）、高液位传感器（3）与配置罐（6）上的低液位传感器（7）、高液位传感器（8）相对安装在原液罐（1）和配置罐（6）的一侧；纯水管路（20）和配置罐（6）相连接；氮气供应管路（19）由氮气压力表（14）、氮气压力表手阀（13）、氮气泄压阀（15）、氮气泄压阀（21）、氮气泄压总阀（16）、氮气泄压安全阀（22）、氮气供应手阀（18）、氮气压力调节阀（17）、氮气供应手阀（25）、氮气压力调节阀（24）组成；原液罐（1）和配置罐（6）接有氮气供应管路（19），原液罐（1）和配置罐（6）之间通过氮气平衡管路（31）连接，氮气泄压阀（15）和氮气泄压阀（21）串联装在氮气平衡管路（31）上，氮气泄压总阀（16）安装在氮气泄压阀（15）和氮气泄压阀（21）之间氮气平衡管路（31）的上方；氨水溶液供应管（27）上装有过滤器（28），其下端安装有排放手阀（10）；控制柜（30）通过信号线与低液位传感器（2）、高液位传感器（3）、低液位传感器（7）、高液位传感器（8）、计量泵（12）及纯水供应电磁阀（23）相连接。