[实用新型]一种切削液自动配置供应装置

摘要

一种切削液自动配置供应装置，适用于半导体硅单晶切片设备在切片过程中产生大量热量的冷却和润滑。本实用新型主要由切削液罐（1）、添加剂贮罐（10）、计量泵（11）、供应泵（12）、热交换系统（13）、控制系统（14）构成。本实用新型在切削液罐（1）内装有上液位传感器（8）和下液位传感器（9），当切削液罐（1）的液位到达下液位传感器（9）时，计量泵（11）和电磁阀（6）自动启动，将添加剂和纯水按比例加入切削液罐（1）内，同样当切削液罐（1）的液位到达上液位传感器（8）时，计量泵（11）和电磁阀（6）自动关闭，实现切削液的自动配置和供应。本实用新型结构简单，安全可靠，可稳定持续向多台内圆切片机提供具有冷却、润滑和助磨功能的切削液，有效提高了内圆刀片的使用寿命和切割硅片的产品质量。

主权项

一种切削液自动配置供应装置，其特征是：所述的切削液自动配置供应装置主要由切削液罐（1）、添加剂贮罐（10）、计量泵（11）、供应泵（12）、热交换系统（13）、控制系统（14）构成；其中切削液罐（1）顶部一侧装有添加剂供应管（2），切削液罐（1）顶部靠近中心位置装有纯水进水管（3）；在纯水进水管（3）上安装有压力表（4）、手动阀（5）、电磁阀（6）；切削液供应管（15）安装在切削液罐（1）下部的一侧上，在切削液罐（1）内一侧的上部和下部分别装有上液位传感器（8）和下液位传感器（9），电阻率传感器（7）设置在切削液罐（1）内侧靠上的位置；添加剂贮罐（10）安装固定在切削液罐（1）的外侧，添加剂贮罐（10）上部管路装有计量泵（11），计量泵（11）与添加剂供应管（2）通过管道联接；供应泵（12）进口端与切削液罐（1）上的切削液供应管（15）联接，供应泵（12）的出口管道上装有一个热交换器（13）；控制系统（14）通过控制线路分别与电磁阀（6）、电阻率传感器（7）、上限位传感器（8）、下限位传感器（9）、供应泵（12）、计量泵（11）联接。